ЛГИ-505, АИЛ-3, ЛГИ-511 - лазеры Азотные (N2)

   Лазеры Азотные (N2) ЛГИ-505, АИЛ-3, ЛГИ-511 предназначены для применения в составе микроэлектронных установок. За счет небольшой длины волны имеется возможность сфокусировать пучок излучения в пятно очень малых размеров, что, в свою очередь, позволяет производить обработку элементов с уровнем долей микрометров. Необходимо также учитывать, что наивысший уровень чувствительности многих разновидностей фоторезиста, которые используются в сфере микроэлектроники, лежит в данной области.

   Описываемые азотные лазеры относятся к группе  газоразрядных лазеров, которые генерируют вынужденное излучение на электронно-колебательных переходах молекул азота в ультрафиолетовом сегменте спектра. Из-за неблагоприятных соотношений вероятности распадов радиационного типа рабочего уровня молекул азота генерацию можно получить только в импульсном режиме на фронте импульсов возбуждений. Вследствие этого лазеры азотного типа относятся к лазерам на переходах самоограниченного типа.

   Основные особенности азотных лазеров технического характера:

• параметры волновой длины для всех моделей составляют 0,337 мкм;
• уровень энергии импульса излучения соответственно вышеперечисленным моделям составляет 2,5 мкДж/30 мкДж/240 мкДж;
• уровень средней мощности излучений составляет 0,5 Вт/3 Вт/240 Вт;
• диаметр пучков излучений на уровне 0,1 мм не превышает 1,5 мм/2 мм/5 мм;
• спектральный состав излучений в моделях АИЛ-0,5 и АИЛ-3 – ТЕМоо, в модели ЛГИ-511 – TEMmn;
• показатели частоты повторений импульсов в соответствии с указанными моделями составляют 1-200 Гц/1-100 Гц/1-1000 Гц;
• продолжительность импульсов на уровне 0.5 в моделях АИЛ-0,5 и АИЛ-3 – 50 не, в модели ЛГИ-511 – 6-8 не;
• габаритные размеры устройств соответственно 200х130х70 мм/350х325х150 мм/ 1140х525х345 мм;
• вес устройств не превышает 3 кг/10 кг/105 кг;
• электропитание осуществляется в модели АИЛ-0,5 с напряжением 24 В либо      220 В, а в двух других используется 220 В;
• уровень потребляемой мощности не превышает 20 Вт/50 Вт/1500 Вт;
• вид охлаждения: воздушный, конвекционный, но в модели ЛГИ-511 водяной тип охлаждения со средним расходом воды 1,5-2 литра в минуту;
• оптимальные температурные параметры внешней среды в пределах от 0^оС до          +40^оС;
• производитель гарантирует среднюю наработку – 500 часов.

Код объекта 001-394-009