qMass 300 - Квадрупольный масс-спектрометр остаточных газов
Описание
Описание qMass 300
Квадрупольный масс-спектрометр остаточных газов qMass 300 предназначается для обеспечения тщательного исследования и анализа состава остаточного газа в вакуумной системе.
В комплект поставки входят такие элементы, как квадрупольный анализатор, управляющий электронный блок и программное обеспечение для использования с операционной системой Windows. Функция программного обеспечения заключается в сборе и анализе получаемой информации и для управления спектрометром.
Сам квадрупольный анализатор представлен ионизатором, квадрупольным фильтром масс и детектором. Простота устройства, небольшое количество составных элементов данного прибора практически исключают утечку газов и предотвращают попадание разного рода примесей внутрь вакуумной системы.
Управляющий блок электронного типа имеет компактные размеры, в его состав входят все необходимые для управления элементы электроники. Электроснабжение блока происходит от специального питающего блока с параметрами +24 В, 2,5 А. Кроме того, возможно использование модуля, который подключается к обычной электросети. Основные параметры работы спектрометра отражаются на индикаторе, который встроен в корпус управляющего блока.
Используемая в приборе нить накаливания имеет двойную структуру, что значительно увеличивает срок ее службы. Предназначение нити накаливания заключается в эмиссии электронов.
Некоторые особенности технического характера:
- параметры диапазонов измерения, осуществляемые детектором, составляют 10-5 – 5*10-11 Torr;
- при применении дополнительного распылителя (опция) параметры диапазонов измерения детектора составляют до 5*10-14 Torr;
- параметр диапазона массы составляет 300 amu;
- уровень разрешения превышает 1 amu;
- уровень погрешности не превышает 2%.
- наличие программного обеспечения LabVIEW;
- наличие RS-интерфейса.
Данный вид масс-спектрометра имеет уникальные возможности, заключающиеся во встроенной возможности вакуумирования, низком уровне шума за счет использования для очищения ионного источника метода электронно-ударной десорбции, в постоянном контроле нити накаливания в отношении перенапряжения (при возникновении перенапряжения происходит отключение нити). Кроме того, широкие динамические диапазоны обеспечивают измерения газов с малыми и большими концентрациями в одновременном режиме.
Характеристики
Параметры | Значение |
Физические рабочие свойства | численные показатели |
Измерительный интервал по массе | (1÷100)amu масс-анализатор qMass 100 (1÷200)amu масс-анализатор qMass 2 00 (1÷300)amu масс-анализатор qMass 300 |
Измерительное разрешение по массе | <0,5 amu/10% высоты пика |
Чувствительность (A/Torr) | 0,0002 (FC) <200 (EM) |
Нижний предел регистрируемого парциального давления | 50 pTorr (FC) 0,05 pTorr (EM) |
Нижний предел рабочего давления | 0,1 mTorr (FC) 1000 mTorr (EM) |
Верхний предел рабочего давления | UHV |
Верхний предел рабочей температуры | +70 °C |
Температура нагрева | +300 °C |
Мощность нити накала ионизатора | (1÷10) Вт |
Энергия электронов ионизатора | (25÷105) В |
Энергия ионов ионизатора | (8/12) В |
Напряжение фокусировки ионизатора | (0÷150) В |
Ток эмиссии электронов ионизатора | (0÷3,5) мА |
Размер датчика | 8,75'' |
Расстояние вхождения датчика | 2'' |
Крепеж датчика | 2,75'' CF |
Нижний предел внутреннего диаметра трубки | 1,375'' |
Размер блока управления | (3,1х4,1х9,1)'' |
Длительность разогрева | 0,5 часа |
Нестабильность по массе после разогрева | ±0,1 amu |
Питающее постоянное напряжение | 24 В |
Сила потребляемого тока в работе | 2,5 Ампера |
Вес одного анализатор | 2,72 кг |