qMass 200 - Квадрупольный масс-спектрометр остаточных газов
Описание
Описание qMass 200
Квадрупольный масс-спектрометр остаточных газов qMass 200 служит для проведения исследований в отношении газов остаточного вида в системах вакуума. Основными конструктивными элементами спектрометра являются: квадрупольный анализатор, электронный управляющий блок со своим программным обеспечением, нить накаливания и диодный умножитель электронного вида. Анализатор прост в использовании, легко разбирается для проведения работы по очистке прибора и также легко собирается.
В корпусе управляющего блока предусмотрено наличие LED-индикатора, при помощи которого оценивается состояние делителя электронного вида, датчика, нити накаливания и других элементов, входящих в состав спектрометра. При использовании в условиях влияния высокой температуры управляющий блок отсоединяется.
Торированная иридиевая нить накаливания двойного типа (изготовлена из иридия и покрыта двуокисью тория – ThO2/Ir) используется в составе анализатора для осуществления эмиссии электронов, что значительно увеличивает срок службы в сравнении с одиночными нитями.
Некоторые особенности технического характера:
- параметры диапазонов измерения, осуществляемые детектором, составляют 10-5 – 5*10-11 Torr;
- при использовании дополнительного распылителя (опция) параметры диапазонов измерения детектора составляют до 5*10-14 Torr;
- параметр диапазона массы составляет 200 amu;
- уровень разрешения превышает 1 amu;
- наличие программного обеспечения LabVIEW;
- замена электронного делителя и нитей накаливания производится за короткий промежуток времени;
- наличие RS-интерфейса.
Характеристики
Параметры | Значение |
Физические рабочие свойства | численные показатели |
Измерительный интервал по массе | (1÷100)amu масс-анализатор qMass 100 (1÷200)amu масс-анализатор qMass 2 00 (1÷300)amu масс-анализатор qMass 300 |
Измерительное разрешение по массе | <0,5 amu/10% высоты пика |
Чувствительность (A/Torr) | 0,0002 (FC) <200 (EM) |
Нижний предел регистрируемого парциального давления | 50 pTorr (FC) 0,05 pTorr (EM) |
Нижний предел рабочего давления | 0,1 mTorr (FC) 1000 mTorr (EM) |
Верхний предел рабочего давления | UHV |
Верхний предел рабочей температуры | +70 °C |
Температура нагрева | +300 °C |
Мощность нити накала ионизатора | (1÷10) Вт |
Энергия электронов ионизатора | (25÷105) В |
Энергия ионов ионизатора | (8/12) В |
Напряжение фокусировки ионизатора | (0÷150) В |
Ток эмиссии электронов ионизатора | (0÷3,5) мА |
Размер датчика | 8,75'' |
Расстояние вхождения датчика | 2'' |
Крепеж датчика | 2,75'' CF |
Нижний предел внутреннего диаметра трубки | 1,375'' |
Размер блока управления | (3,1х4,1х9,1)'' |
Длительность разогрева | 0,5 часа |
Нестабильность по массе после разогрева | ±0,1 amu |
Питающее постоянное напряжение | 24 В |
Сила потребляемого тока в работе | 2,5 Ампера |
Вес одного анализатор | 2,72 кг |