qMass 200 - Квадрупольный масс-спектрометр остаточных газов
Академприбор
Госреестр
Описание
Описание qMass 200
Квадрупольный масс-спектрометр остаточных газов qMass 200 служит для проведения исследований в отношении газов остаточного вида в системах вакуума. Основными конструктивными элементами спектрометра являются: квадрупольный анализатор, электронный управляющий блок со своим программным обеспечением, нить накаливания и диодный умножитель электронного вида. Анализатор прост в использовании, легко разбирается для проведения работы по очистке прибора и также легко собирается.
В корпусе управляющего блока предусмотрено наличие LED-индикатора, при помощи которого оценивается состояние делителя электронного вида, датчика, нити накаливания и других элементов, входящих в состав спектрометра. При использовании в условиях влияния высокой температуры управляющий блок отсоединяется.
Торированная иридиевая нить накаливания двойного типа (изготовлена из иридия и покрыта двуокисью тория – ThO2/Ir) используется в составе анализатора для осуществления эмиссии электронов, что значительно увеличивает срок службы в сравнении с одиночными нитями.
Некоторые особенности технического характера:
- параметры диапазонов измерения, осуществляемые детектором, составляют 10-5 – 5*10-11 Torr;
- при использовании дополнительного распылителя (опция) параметры диапазонов измерения детектора составляют до 5*10-14 Torr;
- параметр диапазона массы составляет 200 amu;
- уровень разрешения превышает 1 amu;
- наличие программного обеспечения LabVIEW;
- замена электронного делителя и нитей накаливания производится за короткий промежуток времени;
- наличие RS-интерфейса.
Код объекта 069-824-022
Характеристики
| Параметры | Значение |
| Физические рабочие свойства | численные показатели |
| Измерительный интервал по массе | (1÷100)amu масс-анализатор qMass 100 (1÷200)amu масс-анализатор qMass 2 00 (1÷300)amu масс-анализатор qMass 300 |
| Измерительное разрешение по массе | <0,5 amu/10% высоты пика |
| Чувствительность (A/Torr) | 0,0002 (FC) <200 (EM) |
| Нижний предел регистрируемого парциального давления | 50 pTorr (FC) 0,05 pTorr (EM) |
| Нижний предел рабочего давления | 0,1 mTorr (FC) 1000 mTorr (EM) |
| Верхний предел рабочего давления | UHV |
| Верхний предел рабочей температуры | +70 °C |
| Температура нагрева | +300 °C |
| Мощность нити накала ионизатора | (1÷10) Вт |
| Энергия электронов ионизатора | (25÷105) В |
| Энергия ионов ионизатора | (8/12) В |
| Напряжение фокусировки ионизатора | (0÷150) В |
| Ток эмиссии электронов ионизатора | (0÷3,5) мА |
| Размер датчика | 8,75'' |
| Расстояние вхождения датчика | 2'' |
| Крепеж датчика | 2,75'' CF |
| Нижний предел внутреннего диаметра трубки | 1,375'' |
| Размер блока управления | (3,1х4,1х9,1)'' |
| Длительность разогрева | 0,5 часа |
| Нестабильность по массе после разогрева | ±0,1 amu |
| Питающее постоянное напряжение | 24 В |
| Сила потребляемого тока в работе | 2,5 Ампера |
| Вес одного анализатор | 2,72 кг |