qMass 100 - Квадрупольный масс-спектрометр остаточных газов
Описание
Описание qMass 100
Квадрупольный масс-спектрометр остаточных газов qMass 100 предназначается для детального анализа газов остаточного вида, находящихся в системах вакуума.
В состав системы входит квадрупольный анализатор, блок управления электронного типа с наличием своего программного обеспечения, которое позволяет осуществлять сбор, анализ информации и управление анализатором. Кроме того, основными элементами системы являются нить накаливания и диодный умножитель электронного типа.
Конструкцией анализатора предусматривается наличие в нем ионизатора, фильтра масс квадрупольного типа и детектора. Простота дизайна и небольшое число составных элементов значительно уменьшает утечку и минимизирует возможность проникновения примесей внутрь вакуумной системы. Анализатор вмонтирован в специальную трубку (кожух), изготовленной из стали нержавеющей марки. Открытого типа ионизатор, вводимый в вакуумную систему всего на 2,5 дюйма, представлен стандартным ионоулавливателем. Конструкцией анализатора предусматривается простота сборки после чистки.
В состав блока управления электронного типа входят все необходимые электронные элементы для управления головкой анализатора. Энергоснабжение блока осуществляется от внешнего источника питания, имеющего параметры +24 В, 2,5 А, либо от дополнительного встроенного модуля, который подключается к обычной розетке. Имеющийся на корпусе LED- индикатор позволяет оценивать состояние делителя электронного вида, датчика, нити накаливания и т.д. Во время проведения исследований, связанных с высокими температурными параметрами, блок управления должен быть отсоединен.
С целью эмиссии электронов применяется торированная иридиевая нить накаливания двойного типа. Продолжительность службы такой нити значительно дольше, чем нити одиночного типа.
Диодный умножитель электронного вида изготовлен в виде цилиндра Фарадея. Детектор позволяет производить замеры в диапазонах 10-5 – 5*10-11 Torr. Кроме того, может присутствовать в качестве опции дополнительный распылитель для увеличения уровня точности замеров, который способен улавливать давление частичного характера до 5*10-14 Torr. Параметр диапазона массы составляет 100 amu.
Для обеспечения связи с персональным компьютером используется интерфейс RS-232. Анализаторы поставляются с необходимым программным обеспечением, адаптированным к операционной системе Windows, которое позволяет осуществлять тонкие настройки шкалы масс, калибровки чувствительности, ионизатора и умножителя.
Характеристики
Параметры | Значение |
Физические рабочие свойства | численные показатели |
Измерительный интервал по массе | (1÷100)amu масс-анализатор qMass 100 (1÷200)amu масс-анализатор qMass 2 00 (1÷300)amu масс-анализатор qMass 300 |
Измерительное разрешение по массе | <0,5 amu/10% высоты пика |
Чувствительность (A/Torr) | 0,0002 (FC) <200 (EM) |
Нижний предел регистрируемого парциального давления | 50 pTorr (FC) 0,05 pTorr (EM) |
Нижний предел рабочего давления | 0,1 mTorr (FC) 1000 mTorr (EM) |
Верхний предел рабочего давления | UHV |
Верхний предел рабочей температуры | +70 °C |
Температура нагрева | +300 °C |
Мощность нити накала ионизатора | (1÷10) Вт |
Энергия электронов ионизатора | (25÷105) В |
Энергия ионов ионизатора | (8/12) В |
Напряжение фокусировки ионизатора | (0÷150) В |
Ток эмиссии электронов ионизатора | (0÷3,5) мА |
Размер датчика | 8,75'' |
Расстояние вхождения датчика | 2'' |
Крепеж датчика | 2,75'' CF |
Нижний предел внутреннего диаметра трубки | 1,375'' |
Размер блока управления | (3,1х4,1х9,1)'' |
Длительность разогрева | 0,5 часа |
Нестабильность по массе после разогрева | ±0,1 amu |
Питающее постоянное напряжение | 24 В |
Сила потребляемого тока в работе | 2,5 Ампера |
Вес одного анализатор | 2,72 кг |