4200A-SCS - система измерения параметров полупроводников

4200A-SCS – система измерения параметров полупроводников является универсальной системой, которая предназначается для осуществления замеров вольт-амперных характеристик I-V на постоянном токе. Также система применяется для проведения CV-метрии, которая заключается в снятии вольт-фарадных характеристик на переменном токе с использованием импульсного режима для полупроводниковых приборов и тестовых структур в составе пластины, используемой в производстве полупроводниковых устройств.

Конструкция системы предусматривает наличие модульной, многоканальной архитектуры, которая обладает настраиваемой конфигурацией. При этом конструкция системы поддерживает большое число модулей (измерительных и дополнительных). Устройство  представлено комплексом аппаратных и программных средств. В состав конструкции прибора входят измерительные модули, которые представлены модулем среднего уровня мощности, модулем большой мощности, токовым предусилителем, модулями для CV-метрии и т.д.

Перечень основных функций, выполняемых системой измерения 4200А-SCS:

• определение вольт-амперных характеристик в пределах диапазона силы тока от 0,1 фА до 1 А и уровня напряжения от 1 мкВ до 210 В;
• измерения на переменном токе с использованием диапазона до 420 В, при этом уровень разрешения составляет 1 мВ при частоте от 1 кГц до 10 МГц;
• сверхбыстрое и импульсное тестирование с разрешением по времени – 5 нс;
• переключение режимов измерения автоматически (режимы определения ВАХ и CV-метрии).

Основные отличительные особенности измерительной системы модели 4200А-SCS:

• конструкция устройства предусматривает наличие встроенной рабочей станции, функционирующей на основе операционной системы Windows 7;
• наличие встроенного сенсорного жидкокристаллического дисплея с высокой степенью разрешения, составляющего 1920х1080 точек;
• шасси устройства поддерживает одновременно до 9 модулей, которые служат для проведения замеров различных параметров;
• в качестве опции возможно исполнение системы с наличием предусилителя токов малого уровня, которые предназначены для обработки модулями средней и высокой мощности;
• возможность осуществления замеров вольт-фарадных параметров с уровнем дифференциального смещения ± 60 В и в частотном диапазоне от 1 кГц до 10 МГц;
• проведение замеров с использованием квазистатического режима и режима ультранизкочастотной CV-метрии;
• в качестве опции имеется исполнение системы с функцией определения вольт-фарадных характеристик с использованием диапазона напряжения до 400 В;
• наличие встроенной библиотеки, рассчитанной на 450 стандартных тестов.

.

Код объекта 001-113-013