г. Москва
+7 (499) 110-95-06
г. Ростов-на-Дону
+7 (863) 333-23-46
г. Хабаровск
+7 (421) 298-83-98


4200A-SCS-PK1 - система измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением)

4200A-SCS-PK1 - система измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением)
Временно недоступен к заказу
Код товара: 001-1002-000
Производитель:
Keithley
Госреестр:
Госреестр
Доставка по России

Описание

4200A-SCS-PK1 – система измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением) является универсальной системой, позволяющей осуществлять замеры вольт-амперных характеристик I-V по току DC, производить снятие вольт-фарадных параметров на переменном токе с использованием импульсного режима с устройств полупроводникового типа и структур, подлежащих тестированию и расположенных на пластине. Основной сферой применения данного устройства является полупроводниковое производство.

 

Система измерения 4200A-SCS-PK1 может быть задействована:

  • для замеров вольт-амперных характеристик с использованием токового диапазона от  0,1 фА до 1 А и диапазона уровня напряжения от 1 мкВ до 210 В;
  • для замеров на переменном токе с использованием диапазона до 420 В с уровнем разрешения 1 мВ и с частотой в диапазоне от 1 кГц до 10 мГц;
  • для ультрабыстрого и импульсного тестирования с показателем временного разрешения – 5 нс;
  • для автоматического переключения между режимами, предназначенными для замеров вольт-амперных характеристик и вольт-фарадных параметров переменного тока.

 

Вся измерительная система представлена комплектом приборов в виде одного базового блока анализатора параметрического типа, двух измерительных модулей, имеющих среднюю мощность, а также одного токового предусилителя и одной оснастки, обеспечивающей подключение тестируемых компонентов. Система обладает модульной многоканальной архитектурой и настраиваемой конфигурацией. При этом имеется возможность поддержки до 9 модулей. Система представлена комплексом средств аппаратного и программного обеспечения.

 

Основные отличительные особенности измеряющей системы данной модели:

  • наличие встроенной рабочей станции, работа которой основывается на базе операционной системы Windows 7;
  • наличие встроенного сенсорного жидкокристаллического дисплея с высоким уровнем разрешения (1920х1080 точек), диагональю 15,6 дюймов;
  • поддержка 9-ти модулей, предназначенных для осуществления замеров в одновременном режиме;
  • в качестве опции в состав системы может включаться отдельный прибор в виде предусилителя токов малого уровня, который используется для модулей со средним и высоким уровнем мощности;
  • возможность измерения вольт-фарадных характеристик с параметрами дифференциального смещения ±60 В при частоте от 1 кГц до 10 мГц, также замеры могут осуществляться с использованием квазистатического либо ультранизкочастотного режима;
  • наличие библиотеки, которая содержит до 450 тестов;
  • прибор обладает широким набором интерфейсов и портов (USB, SVGA и т.д.).

 

.

 

Характеристики

 

Технические характеристики       

 

 Диапазон

тока

Макс.

напряжение 

Разрешение

(измерение) 

Точность

измерения

±(% от шкалы + А) 

Разрешение

(генерация)

 

Точность

генерации

±(% отшкалы

+ А) 

Технические характеристики измерительных модулей       

4210-

SMU 

 
1 А   21 В 1 мкА 

0,100%

+ 200 мкА 

50 мкА 

0,100%

+ 350 мкА 

 100 мА  210 В  50 нА

 0,045%

+ 3 мкА

5 мкА 

0,050%

+ 15 мкА 

4200-

SMU и

4210-

SMU       

 100 мА  21 В  50 нА

 0,045%

+ 3 мкА

5 мкА 

0,050%

+ 15 мкА 

10 мА    210 В 5 нА 

0,037%

+ 300 нА 

 500 нА

0,042%

+ 1,5 мкА 

 1 мА   210 В  500 пА

 0,035%

+ 30 нА

50 нА 

0,040%

+ 150 нА 

100 мкА    210 В  50 пА

0,033%

+ 3 нА 

5 нА 

 0,038%

+ 15 нА

10 мкА    210 В  5 пА

0,050%

+ 600 пА 

 500 пА

0,060%

+ 1,5 нА 

1 мкА    210 В 500 фА 

0,050%

+ 100 пА 

 50 пА

0,060%

+ 200 пА 

100 нА    210 В  50 фА

0,050%

+ 30 пА 

5 пА 

0,050%

+ 30 пА 

     4200-

SMU и

4210-

SMU с

опцией

4200-PA

 10 нА 210 В   5 фА

0,050%

+ 1 пА 

500 фА 

0,060%

+ 3 пА 

 1 н 210 В   1 фА

 0,050%

+ 100 фА

 50 фА

 0,060%

+ 300 фА

 100 пА 210 В   300 аА

0,100%

+ 30 фА 

15 фА 

 0,100%

+ 80 фА

 10 пА 210 В  100 аА 

 0,050%

+ 15 фА

 5 фА

0,500%

+ 50 фА 

 1 пА 210 В  10 аА 

1,000%

+ 30 фА 

1,5 фА 

1,000%

+ 40 фА 

 Диапазон

напряжения

 
  Диапазон тока

Разрешение

(измерение)  

Точность

измерения

±(% от

шкалы + А  

Разрешение

(генерация)  

Точность

генерации

±(% отшкалы

+ А) 

  
4200-SMU   4210-SMU
 200 В  10,5 мА 105 мА   200 мкВ

 0,015%

+ 3 мВ

5 мВ 

0,02%

+ 15 мВ 

 20 В  105 мА 1,05 А  20 мкВ 

 0,01%

+ 1 мВ

500 мкВ 

0,02%

+ 1,5 мВ 

2 В   105 мА 1,05 А  2 мкВ 

 0,012%

+ 150 мкВ

 50 мкВ

 0,02%

+ 300 мкВ

200 мВ   105 мА 1,05 А   0,2 мкВ

0,012%

+ 100 мкВ 

 5 мкВ

0,02%

+ 150 мкВ 

Параметр     Значение   
Выходные разъемы (4200-SMU, 4210-SMU)    

3 минитриаксиальных (female: Force, Sence и

Sence LO) на каждый SMU

1 D-Sub (female, 15-pin) для подключения к 4200-PA   

    Выходные разъемы (4200-PA)    

3 минитриаксиальных (female: Force, Sence и

Sence LO) на каждый SMU

1 D-Sub (female, 15-pin) для подключения к 4200-PA

Шум (типичное)    

генерация (ток/напряжение скз) 0,01% / 0,1% от

полного диапазона

измерение (ток/напряжение пик-пик) 0,02% / 0,2% от

полного диапазона   

Максимкальная скорость нарастания     0,2 В/мкс   

CV- метрия. Измерение вольт-фарадных характеристик       

 Частота    Измеряемая емкость   С точность  G точность
        10 МГц 1 пФ   ±0,92%   ±590 нс 
10 пФ ±0,32%  ±1,8 мкс
100 пФ   ±0,29%   ±17 мкс 
  1 нФ ±0,35%   ±99 мкс 
1 МГц         1 пФ   ±1,17%   ±64 нс 
 10 пФ    ±0,19% ±65 нс 
100 пФ     ±0,10%  ±610 нс
 1 нФ  ±0,09%   ±4 мкс 
100 кГц         10 пФ   ±0,31%   ±28 нс 
100 пФ   ±0,18%   ±59 нс 
1 мкФ   ±0,10%   ±450 нс 
10 нФ   ±0,10%   ±3 мкс 
10 кГц         100 пФ   ±0,31%   ±15 нс 
1 нФ     ±0,15% ±66 нс 
10 нФ    ±0,08%  ±450 нс 
100 нФ     ±0,10%  ±3 мкс
1 кГц     1 нФ   ±0,82%   ±40 нс 
  10 нФ   ±0,40% ±120 нс 
100 нФ ±0,10% ±500 нс
1 мкФ ±0,15% ±10 мкс

Амплитудные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU

Параметр Импеданс Диапазон 10 В Диапазон 40 В
Амплитуда на выходе 50 Ом - 1 МОм -10 В...+ 10 В -40 В...+40 В
50 Ом - 50 Ом -5 В...+ 5 В -20 В...+ 20 В
Точность      ±(0,5% + 10 мВ)  

±(0,2%

+ 20 мВ) 

Разрешение     50 Ом - 1 МОм   < 250 мкВ   < 750 мкВ 
  50 Ом - 50 Ом < 0,5 мВ   < 1,5 мВ 
  Уровень шума, скз (типичное)    ±(0,3% + 1 мВ)  

±(0,1%

+ 5 мВ) 

Выходной импеданс      50 Ом   50 Ом 

Временные и частотные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU       

 Параметр

  Диапазон 10 В

(только генерация)

Диапазон 10В
 измерением
Диапазон 40 В
(только генерация) 

Диапазон 40 В

(с измерением) для 4225-PMU  

Частотный

диапазон 

 

 1 Гц...50 МГц

1 Гц...

8,3 МГц 

 1 Гц...

10 МГц

  1 Гц...3,5 МГц

 Временное

разрешение

10 нс    10 нс 10 нс  10 нс  

Джиттер, скз

(типичное) 

0,01% + 200 пс  

 0,01%

+ 200 пс

0,01%

+ 200 пс 

  0,01% + 200 пс
Период  20 нс...1с   120 нс...1с  100 нс...1с  280 нс...1с  

 Длительность

импульса

10 нс...(период - 10 нс)  

 60 нс...

(период

- 10 нс)

 50 нс...

(период - 10

нс)

140 нс...(период - 10 нс)  

Программируемое

время перехода 

10 нс...33 мс    20 нс...33 мс

30 нс...

33 мс 

100 нс...33 мс  

Временные и частотные характеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU       

Параметр   Диапазон 10 В      Диапазон 40 В
Диапазон измерения тока   10 мА  200 мА   100 мкА 10 мА   800 мА
Точность  

±(0,25%

+ 100 мкА) 

±(0,25%

+ 250 мкА) 

±(0,25%

+ 1 мкА) 

±(0,5%

+ 100 мкА) 

±(0,25%

+ 3 мА) 

Шум   15 мкА  50 мкА  75 нА  5 мкА  200 мкА 

Измерение тока 4225-PMU с предусилителем/коммутатором 4225-RPM       

Параметр Диапазон 10 В

Диапазон

измерения тока

100 нА 1 мкА 10 мкА 100 мкА 1 мА 10 мА
Точность

±(0,5%

+ 1 нА)

±(0,5%

+ 1 нА)

±(0,5%

+ 30 нА

±(0,5%

+ 100 нА)

±(0,5%

+ 1 мкА)

±(0,5%

+ 10 мкА)

Шум 200 пА 2 нА 5 нА 50 нА 300 нА 1,5 мкА

Импульсные измерения 4225-PMU с 4225-RPM

Импульс/Уровень 4225-PMU с 4225-RPM
Выходное напряжение -10 В до +10 В
Точность ±(0,5% + 10 мВ)
Разрешение <0, 05 мВ
Базовый шум ±(0,39% ± 1 мВ)скз

Измерения напряжения 4225-PMU с 4225-RPM

Параметр    4225-PMU с 4225-RPM    
Диапазон измерения 10 В
Минимальная длительность импульса 100 нс
Шум        1 мВскз
Время установки        100 нс

 

Отзывы

Отзывы о 4200A-SCS-PK1 - система измерения параметров полупроводников (комплект для измерения ВАХ с высоким разрешением)

Ваша оценка
Вы недавно смотрели
Наверх
ООО НПП Точприбор
г. Москва 23-й км Киевское шоссе (п Московский), д. 7 к. 2, помещение 226 ком. 1 +7 (499) 110-95-06 mail@tochpribor.org